고대역폭메모리(HBM) 필수 제조 장비인 TC본더를 둘러싼 한미반도체와 한화세미텍 간 공방이 맞소송으로 번졌다. 28일 업계에 따르면 한화세미텍은 최근 TC본더의 핵심 기술과 관련해 특허권을 침해받았다며 한미반도체를 상대로 소송을 냈다. 앞서 지난해 말 한미반도체가 한화세미텍을 상대로 TC본더 특허권 침해 소송을 낸 바 있는데, 한화세미텍이 약 1년 만에 맞불을 놓은 것이다. TC본더는 인공지능(AI) 반도체용 HBM을 제조하는 데 필요한 핵심 장비다. HBM은 D램을 여러 개 쌓아 올리는 방식으로 만드는데, D램에 열과 압력을 가해 고정하는 공정에 TC본더가 쓰인다. 한화세미텍은 이번 소송에서 한미반도체의 HBM3E용 TC본더에 탑재된 부품 일부를 문제로 삼은 것으로 전해졌다. 한화세미텍 관계자는 "진행 중인 소송으로 구체적인 내용을 밝히기는 어렵다"면서도 "장비의 핵심 기술 보호와 기술 탈취 및 도용 등 불법 행위에 대한 강력 대응 차원에서 이번 특허 침해 소송을 제기했다"고 설...

SK하닉, 상반기 1340억대 물량 발주 하반기 발주 안 해…내년부터 검토할 듯 차세대 기술 확보·고객사 확대로 대응 [이데일리 공지유 기자]SK하이닉스(000660)가 고대역폭메모리(HBM) 패키징 핵심 공정 장비인 열압착(TC) 본더를 연내 추가 발주하지 않기로 했다. 이에 한화세미텍, 한미반도체 등 SK하이닉스의 발주를 기대하던 반도체 장비 업체들의 단기 실적에도 영향을 미칠 것으로 보인다. 22일 서울 강남구 코엑스에서 열린 ‘제27회 반도체대전’에서 SK하이닉스가 차세대 메모리 시장의 핵심으로 꼽히는 6세대 고대역폭메모리(HBM4) 실물을 공개하고 있다.(사진=이영훈 기자) 28일 업계에 따르면 SK하이닉스는 올해 하반기 TC본더 발주 계획이 없는 것으로 파악된다. TC본더는 HBM을 만들 때 후공정 과정에 쓰이는 핵심 장비다. 현재는 HBM을 만들 때 D램을 쌓으면서 단자 역할을 하는 범프(납과 같은 전도성 돌기)로 물리적으로 칩과 칩을 연결한다. 이때 TC 본더는 범프에...

한화, 소송 대리인 김앤장 선임...HBM 장비 시장 놓고 전면전 한미반도체로부터 특허침해 소송을 당한 한화세미텍이 이번엔 역(逆)으로 한미반도체를 상대로 HBM(고대역폭메모리)용 TC본더의 핵심기술에 대한 특허소송을 최근 제기한 것으로 확인됐다. 앞서 한미반도체는 지난해 12월 한화세미텍을 상대로 먼저 소송을 제기한 바 있다. 한화세미텍이 근 1년만에 '특허 반격'를 통한 역고소에 나서면서 양측의 갈등이 새로운 국면에 접어들 전망이다. 향후 소송 결과에 따라 국내 HBM 후공정 장비 공급망과 양사 사업 전반에 큰 영향을 미칠 전망이어서 전면전으로 치달을 가능성도 엿보인다. 28일 업계 및 법조계에 따르면 최근 한화세미텍은 특허 침해 혐의로 한미반도체에 소송을 제기했다. 소송 대리인으로는 김앤장 법률사무소를 선임한 것으로 알려졌다. 한화세미텍의 TC본더 'SFM5-Expert'(사진=한화세미텍) 한화세미텍이 이번에 문제 삼은 특허는 TC본더 장비와 관련된 것으로 파악됐다. TC본더는...

한화세미텍 “반도체 장비 불법 행위에 대한 강력한 대응” 한미반도체 “적반하장 한화세미텍, 후안무치 행동” 한미반도체로부터 특허침해 소송을 당한 한화세미텍이 역으로 한미반도체를 상대로 특허침해 소송을 제기하면서 고대역폭메모리(HBM)용 장비인 TC본더의 핵심 기술을 놓고 법적 공방을 이어가고 있다. 28일 업계에 따르면 한화세미텍은 최근 한미반도체를 상대로 특허 침해 소송을 제기했다. 한화세미텍이 소송을 제기한 특허는 TC본더 장비와 관련된 것으로, TC본더는 열·압착을 통해 칩과 웨이퍼를 붙이는 반도체 후공정 장비다. TC본더는 특히 여러개의 칩을 쌓는 HBM 제조에 필수적이다. 이번 소송은 앞서 한미반도체가 한화세미텍을 상대로 제기한 특허소송의 후속조치로 이뤄졌다. 앞서 한미반도체는 지난해 12월 한화세미텍을 상대로 소송을 제기한 바 있다. 양사는 SK하이닉스 등 반도체 기업에 TC본더 제품을 나란히 공급하고 있다. 앞서 지난 5월 한미반도체는 428억원 규모, 한화세미텍은 38...